한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
- /
- Pages.104-104
- /
- 2003
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 epitaxial BaTiO3 박막 성장과 유전특성
Microwave dielectric properties and deposition of epitaxial $BaTiO_3$ films by RF magnetron sputtering
초록
RF magnetron sputtering 법을 이용하여 LaA1O
키워드