한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

메브레인 구조를 갖는 Cu-Mn-Co-Ni 산화물계 박막형 적외선 감지기 제조

Febrication of Cu-Mn-Co-Ni-$O_4$ Thin Film Type Infrared Detector of Membrane Structure

  • 박정희 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 신종배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 전민석 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 한경섭 (한국과학기술연구원(KIST) 복합기능세라믹센터) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2003.11.01
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초록

적외선 감지기는 냉장고, 에어컨, 자동차용 전자부품 등의 온도측정 및 제어, 과잉 전류의 억제를 위한 소자로 널리 사용되며, 또한 최근에는 온도보상형 수정발진기(TCXO) 또는 RF모듈, 액정 판넬의 온도보상회로 등 정보통신기기의 신뢰성 향상을 위해 그 수요가 날로 증가하고 있다. 현재 상용되는 적외선 감지기의 대부분은 벌크형 또는 후막형으로 제조되고 있으나, 최근 반도체공정 기술의 발달로 인하여 보다 향상된 특성이 요구됨에 따라 박막형 등 새로운 형태의 적외선 감지기 대해 활발한 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 열 질량과 전도에 의한 열손실을 최소화하여 소자의 감도 및 응답 특성을 향상시키기 위하여 SiO$_2$Si$_3$N$_4$/SiO$_2$ (ONO)다중층 위에 소자 감지부를 형성하고 bulk-micromachining기술을 이용하여 멤브레인 구조를 갖는 박막형 적외선 감지기를 제작하였다.

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