한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- 2003
반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장
Formation of Co-N Film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial $CoSi_2$ using the Co-N film
초록
금속-실리콘간 화합물인 실리사이드 중에서, 코발트다이실리사이드(CoSi
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