수소 및 회복 열처리 공정이 강유전체 $SrBi_2Nb_2O_9$ 게이트 구조의 전기적 특성에 미치는 효과

Effects of hydrogen and recovery annealing process on electrical properties of ferroelectric $SrBi_2Nb_2O_9$ gate structure

  • 발행 : 2003.05.01