Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
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- Pages.102-102
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- 2003
Effects of hydrogen and recovery annealing process on electrical properties of ferroelectric $SrBi_2Nb_2O_9$ gate structure
수소 및 회복 열처리 공정이 강유전체 $SrBi_2Nb_2O_9$ 게이트 구조의 전기적 특성에 미치는 효과
Abstract
Keywords