한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- 2003
질소함유량에 따른 질화규소 박막의 특성 및 기계적 성질
Characterization and Mechanical Properties of Silicon Nitride Films with Various Nitrogen Contents
초록
기계가공용으로 개발된 3성분계 Ti-Si-N 코팅막은 약 40㎬이상의 초고경도이며, 그 미세구조는 나노입자의 TiN결정과 비정질 Si
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