Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2003.03a
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Pages.89-89
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2003

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Effects of $Al_2O_3$ films as buffer layer in ferroelectric gate structure

강유전체 게이트 구조에서의 $Al_2O_3$완충층의 효과

최훈상 (고려대학교) ;
임근식 (고려대학교) ;
이장혁 (고려대학교) ;
서승건 (고려대학교) ;
곽준상 (고려대학교) ;
최인훈 (고려대학교) ;
손창식 (신라대학교)

Published : 2003.05.01

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Abstract

Keywords