Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Preparation of Boron Carbide Thin Films by DC Magnetron Sputtering

DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 박막의 제조

  • 이광은 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 한진환 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 김종오 (충남대학교 재료공학과) ;
  • 김종희 (고기능성자성재료연구센터(ReCAMM)) ;
  • 이정영 (㈜샘텍 종합기술연구소) ;
  • 박명진 (㈜샘텍 종합기술연구소) ;
  • 이천배 (㈜샘텍 종합기술연구소)
  • Published : 2003.05.01
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Abstract

Keywords