한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- 2003
RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석
Preparation and properties of TiN thin films using RF magnetron sputter
초록
TiN 박막을 Ti 타겟을 이용하여 Si(001) 기판위에 반응성 RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 제조하였다. 반응성 스퍼터링시 온도를
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