Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
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- Pages.185-185
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- 2003
Preparation and properties of TiN thin films using RF magnetron sputter
RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석
Abstract
TiN 박막을 Ti 타겟을 이용하여 Si(001) 기판위에 반응성 RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 제조하였다. 반응성 스퍼터링시 온도를
Keywords