Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
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- Pages.39-39
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- 2003
Low temperature crystallization of a-Si channel in TFT array using FALC process
TFT-LCD array에 FALC 공정을 적용한 a-Si의 저온결정화 연구
Abstract
Keywords