한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- Pages.38-38
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- 2003
RF Magnetron Sputtering으로 증착된 PTO/PZO 초격자 박막의 유전 특성
Dielectric properties of PTO/PZO superlattices prepared by RF Magnetron Sputterring
초록
PTO/PZO 초격자 박막은 박막 계면에 응력이 발생하여 기존의 박막처럼 size effect가 적용되지 않고 두께가 감소해도 높은 유전상수를 갖는다. Antiferroelectric PbZrO
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