Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.03a
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- Pages.38-38
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- 2003
Dielectric properties of PTO/PZO superlattices prepared by RF Magnetron Sputterring
RF Magnetron Sputtering으로 증착된 PTO/PZO 초격자 박막의 유전 특성
Abstract
PTO/PZO 초격자 박막은 박막 계면에 응력이 발생하여 기존의 박막처럼 size effect가 적용되지 않고 두께가 감소해도 높은 유전상수를 갖는다. Antiferroelectric PbZrO
Keywords