불소 함유 카본 박막의 표면 특성 연구

A study on surface properties of F incorporated carbon films

  • 나종주 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 조정래 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 이구현 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 표면연구부)
  • 발행 : 2003.05.01