한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

상압플라즈마 표면처리한 indium tin oxide (ITO) 표면의 특성분석

Characteristic of indium tin oxide (ITO) surface after an atmospheric pressure plasma treatment

  • 정창현 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 이형철 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 최은식 (정밀가공그룹, 생산기술연구원 LG 전자) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실)
  • 발행 : 2003.05.01
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