Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference (한국공작기계학회:학술대회논문집)

The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers (한국생산제조학회)
권호 표지

Design of a high Precision stage and a multi-segmented magnet way linear motor for high precision machine

초정밀 가공기를 위한 다극자석 선형 모터와 초정밀 스테이지 설계

  • 김기현 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 이문구 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김동민 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 조형석 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2003.04.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

본 논문은 초정밀 가공기에 적용 가능한 6자유도의 운동이 가능한 초정밀 스테이지의 설계를 기술한다. 본 초정밀 스테이지는 특히, 광학을 이용한 가공기와 절삭력이 작은 가공기에 적합하다. 스테이지는 장행정 · 단행정 스테이지로 구성된 이중 서보를 채택한다 장행정 스테이지는 초정밀 운동에 방해가 되는 운동을 줄이며 높은 효율을 갖는 다극 자석 배열을 이용한 선형모터를 사용한다. 그리고 단행정 스테이지는 장행정 스테이지와의 기계적 결합에 의한 구조적 영향성을 없애는 개념을 적용할 수 있는 보이스 코일 모터을 이용한다. 그리고 각 구동부는 최상의 성능을 유지할 수 있도록 최적설계를 수행한다.

Keywords