대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 1998년도 하계종합학술대회논문집
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- Pages.461-464
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- 1998
$WN_{x}$ 에미터 전극을 갖는 자기정렬 AlGaAs/GaAs HBT의 제작과 특성
Fabrication and Character istics of self-aligned AlGaAs/GaAs HBT using $WN_{x}$ as emitter metal
초록
Self-aligned AlGaAs/GaAs HBTs with the emitter area of 1.5*10.mu.
키워드