Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07c
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- Pages.1938-1940
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- 2003
Electrochemical methodologies for fabrication of urea-sensitive electrodes composed of porous silicon layer and urease-immobilized conductive polymer film
전기화학적 방법을 이용한 다공질 실리콘 구조 형성, 전도성 고분자코팅, 및 urease 고정화와 감도 특성
- Jin, Joon-Hyung (Korea University) ;
- Kang, Moon-Sik (Korea University) ;
- Song, Min-Jung (Korea University) ;
- Min, Nam-Ki (Korea University) ;
- Hong, Suk-In (Korea University)
- Published : 2003.07.21
Abstract
본 연구는 요소 센서 제작을 위한 과정으로서, 전기화학적 방법을 이용한 다공질 실리콘 구조 형성과, PDV(Physical Vapor Deposition) 법에 의한 백금 박막 코팅 및 전기화학적 전도성 고분자 코팅과 urease 고정화 단계를 고찰하고 감도 특성을 제시 하였다. 전극 기질로서 B을 도우핑한 p-type 실리콘웨이퍼를 사용하였고, HF:
Keywords