Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07c
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- Pages.1929-1931
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- 2003
Fabrication of Thermopneumatic-Actuated PDMS Microvalve
열공압력 구동 방식의 PDMS 마이크로 밸브의 제작
- Kim, Jin-Ho (Dept. of Electrical Eng, Myongji University) ;
- Kim, Ju-Ho (Dept. of Electrical Eng, Myongji University) ;
- Kim, Yong-Sang (Dept. of Electrical Eng, Myongji University)
- Published : 2003.07.21
Abstract
본 연구에서 제안하는 마이크로 밸브는 열공압 방식으로 구동되고 제작비용이 저렴한 indium tin oxide (ITO) 및 polydimethylsiloxane (PDMS)로 제작되었다. 제안된 마이크로 밸브의 구조는 ITO 히터, SU-8 층, PDMS membrane, 그리고 PDMS 채널로 구성되어 있다. 제작된 열공압 구동기의 PDMS membrane의 변위는 현미경의 초점 거리의 변화로 측정하였으며 히터에 160mW 전력 인가 시 변위는 대략
Keywords