Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2003.07c
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- Pages.1424-1426
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- 2003
Aging and destruction of PMN-PZT Multilayer Ceramic Actuators
PMN-PZT 세라믹 액츄에이터의 열화 및 파괴 거동
- Koh, Jung-Hyuk (KERI) ;
- Jeong, Soon-Jong (KERI) ;
- Ha, Moon-Su (KERI) ;
- Lee, Dong-Man (Smart Electroncis Inc) ;
-
Song, Jae-Sung
(KERI)
- 고중혁 (전자기소자연구그룹, 한국전기연구원) ;
- 정수종 (전자기소자연구그룹, 한국전기연구원) ;
- 하문수 (전자기소자연구그룹, 한국전기연구원) ;
- 이동만 (스마트전자) ;
-
송재성
(전자기소자연구그룹, 한국전기연구원)
- Published : 2003.07.21
Abstract
PMN-PZT 적충형 세라믹 액츄에이터 소자를 제작한후 그 열화 특성을 조사하였다. 액츄에이터는 tape casting 방법으로 green sheet를 제작한후, screen printing방법을 이용하여 전극형상을 만들고, lamination과 cutting공정을 통하여 소자를 제작하였다. 작된 소자의 구조적인 특성을 분석하기 위하여 X-ray diffractometer를 사용하였으며, Doppler effect를 사용하는 laser vibrometer를 이용하여 전압에 따른 변위량을 측정하였다. 제작된 소자의 열화 특성을 알아보기 위하여 60 Hz의 triangular 교류 파형을 적충형 세라믹 액츄에이터에 인가하여 열화전과 후의 P-E hysteresis loop의 변화를 살펴보았으며, unipolar AC 전압을 지속적으로 인가하여 소자를 depling 시킴으로써 열화현상을 관찰하였다. 파단면에 대한 SEM 분석을 통하여 소자의 파괴 메카니즘을 알아 보도록 하였다. 이로부터 전기적, 기계적 열화가 소자의 동작에 미치는 영향에 대해서 알아 보았다.
Keywords