사진 식각공정을 이용한 Micro-DMFC 제조 공정에 관한 연구

The Application of Photo-Lithography Technique to Micro-DMFC Fabrication

  • 홍종철 (성균관대학교 화학공학과) ;
  • 고강석 (성균관대학교 화학공학과) ;
  • 차혜연 (성균관대학교 화학공학과) ;
  • 정찬화 (성균관대학교 화학공학과)
  • 발행 : 2003.10.01