Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

Characteristics for making the mask of low-energy EPL

Low-energy EPL 마스크 구현을 위한 특성 연구

  • 김태근 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 함동은 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 신수범 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 김우삼 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 김치호 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 정용재 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 안진호 (한양대학교 재료공학과)
  • Published : 2003.11.01
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Abstract

Low energy EPL용 마스크 구현을 위한 특성을 연구하였다. Monte Carlo 법을 이용하여 시뮬레이터를 제작하였고, pattern side wall의 slope와 membrane의 Thickness, 전자빔의 가속전압에 따른 전자빔의 거동을 확인함을 통하여 Low energy EPL용 마스크 제작을 위한 spec.을 도출하였다. 또한 실제 제작을 위한 기초단계로 Si etching을 수행하였으며, mask 제작법에 대한 가능성을 확인할 수 있었다.

Keywords