한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집 (Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference)
- 한국마이크로전자및패키징학회 2003년도 기술심포지움 논문집
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- Pages.145-150
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- 2003
Ni-Cr 박막 저항의 특성에 미치는 열처리 조건의 영향
Effect of Annealing Conditions on Properties of Ni-Cr Thin Film Resistor
- 류승록 (한밭대학교 재료공학과) ;
- 명성재 (한밭대학교 재료공학과) ;
- 구본급 (한밭대학교 재료공학과) ;
- 강병돈 ((주)케이엠씨테크놀러지) ;
- 류재천 ((주)케이엠씨테크놀러지) ;
- 김동진 ((주)케이엠씨테크놀러지)
- Ryu Sung-Rok (Department of Materials and Engineering, Hanbat University) ;
- Myung Sung-Jea (Department of Materials and Engineering, Hanbat University) ;
- Koo Bon-Keup (Department of Materials and Engineering, Hanbat University) ;
- Kang Beong-Don (Korea Microwave Components) ;
- Ryu Jei-Chun (Korea Microwave Components) ;
- Kim Dong-Jin (Korea Microwave Components)
- 발행 : 2003.11.01
초록
최근에 3 GHz이상의 고주파용 전자부품과 소자의 제조에 낮은 TCR 값과 높은 정밀도를 갖는 박막저항이 사용되고 있다. Ni-Cr 박막저항은 낮은 TCR 값과 저항에 대한 높은 안정성 때문에 저항 물질로 사용되는 가장 일반적인 물질이다. 본 연구에서는
In the electronic components and devices fabrication, thin film resistors with low TCR(temperature coefficient of resistance) and high precision have been used over 3 GHz microwave in recent years. Ni-Cr alloys thin films resistors is one of the most commonly used resistive materials because it has low TCR and highly stable resistance. In this work, we fabricated thin film resistors using Evanohm alloys target(72Ni-20Cr-3Al-4Mn-Si) of s-type with excellent resistors properties by RF-sputtering. Also we reported best annealing conditions of thin film resistors for microwave to observe microstructure and electronic properties of thin film according to annealing conditions
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