한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 BST 박막의 제조 및 전압 의존 유전 특성

Voltage-dependent Dielectric Properties of BST Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

  • 이봉연 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 윤의중 (호서대학교 정보제어공학과) ;
  • 김정석 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 천채일 (호서대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2002.10.18
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