($ZrO_2$ 완충층의 후열처리 조건에 따른 $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ 구조의 전기적 특성

Effect of Heat Treatment Condition at $ZrO_2$ Buffer Layer for Electrical Properties of $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ Structure

  • 정우석 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 박철호 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕영 (부산대학교 무기재료공학과) ;
  • 손영국 (부산대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 2002.10.18