Micromachined PZT Cantilever의 다층박막 두께에 따른 응력 분포 해석

• Lee, Jeong-Hun ;
• Hwang, Gyo-Seon ;
• Yun, Gi-Hyeon ;
• Kim, Tae-Song

• 이정훈 (연세대학교 세라믹공학과, KIST 마이크로시스템연구센터) ;
• 황교선 (KIST 마이크로시스템연구센터) ;
• 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
• 김태송 (KIST 마이크로시스템연구센터)

• Published : 2002.10.18

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