한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

Growth of Highly c-axis Textured AIN Films on Mo Electrodes for Film Bulk Acoustic Wave Resonators

  • 이시형 (연세대학교 세라믹공학과, 한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 강성철 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2002.10.18
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