한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

증착 온도가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성에 미치는 영향

Effect of Substrate Deposition Temperature on the Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Films Ion Beam Sputtering Method

  • 성진욱 (연세대학교 세라믹공학과, (주) P & I 기술연구소) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 조준식 ((주) P & I 기술연구소) ;
  • 고석근 ((주) P & I 기술연구소)
  • 발행 : 2002.10.18
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