Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2002.10a
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- Pages.96.2-96
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- 2002
Effect of Substrate Deposition Temperature on the Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Films Ion Beam Sputtering Method
증착 온도가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
Abstract
Keywords