마이크로 무게 감지 센서의 제작과 특성

Fabrication and Characterization of Micro Mass Sensor

  • 강선미 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김상진 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2002.10.18