Field Aided Lateral Crystallization (FALC) using Cu of Amorphous Silicon below $400^{\circ}C$

($400^{\circ}C$ 이하에서 Cu를 이용한 비정질 실리콘의 전계 유도 방향성 결정화

  • 박경완 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 조기택 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2002.10.18