하부전극이 스퍼터링법으로 증착한 $BaTiO_3$ 박막의 강유전성에 미치는 영향

Effect of Bottom Electrode on the Ferroelectric Property of Sputtered $BaTiO_3$ Thin Films

  • 조영우 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최시경 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2002.10.18