Study of the Surface Charge in Micro Sized PZT Thin Film by Kelvin Probe Force Microscopy

KFM을 이용한 Micro Sized PZT 박막의 Surface Charge에 대한 연구

  • 안우송 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최시경 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 2002.10.18