한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

표면연삭가공에 의한 단결정 실리콘의 기계적 손상

Mechanical Damage of Silicon by Surface Grinding

  • 정상훈 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 정성민 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이홍림 (연세대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2002.10.18
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