Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Mechanical Damage of Silicon by Surface Grinding

표면연삭가공에 의한 단결정 실리콘의 기계적 손상

  • 정상훈 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 정성민 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이홍림 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2002.10.18
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords