Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2002.10a
- /
- Pages.65.1-65
- /
- 2002
The Effect of Slurry Chemistry on the Dispersion Stability of Cu CMP Slurry and its Influence on Cu CMP Process
Cu-CMP용 슬러리의 화학적 성질이 슬러리 분산 안정성과 Cu-CMP 공정에 미치는 영향
- Yun, Pil-Won ;
- Kim, Sang-Gyun ;
-
Baek, Un-Gyu
;
-
Park, Jae-Geun
;
- Katoh, T.
- Published : 2002.10.18
Abstract
Keywords