Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2002.10a
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Pages.65.1-65
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2002

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

The Effect of Slurry Chemistry on the Dispersion Stability of Cu CMP Slurry and its Influence on Cu CMP Process

Cu-CMP용 슬러리의 화학적 성질이 슬러리 분산 안정성과 Cu-CMP 공정에 미치는 영향

윤필원 (한양대학교 세라믹공학과) ;
김상균 (한양대학교 세라믹공학과) ;
백운규 (한양대학교 세라믹공학과) ;
박재근 (한양대학교 나노 SOI 연구소) ;

Published : 2002.10.18

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Abstract

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