MICROTRIBOLOGICAL PROPERTIES OF FLUORINATED AMORPHOUS CARBON COATINGS

  • Ahmed, I. (CSEM Centre Suisse d'Electroniqu et de Microtechnique SA) ;
  • Valentini, L. (Materials Engineering Center, Universita di Perugia) ;
  • Lozzi, L. (Dipartimento di Fisica-Unita INFM, Universita dell' Aquila) ;
  • Santucci, S. (Dipartimento di Fisica-Unita INFM, Universita dell' Aquila) ;
  • Kenny, J.M. (Materials Engineering Center, Universita di Perugia) ;
  • Haefke, H. (CSEM Centre Suisse d'Electroniqu et de Microtechnique SA)
  • 발행 : 2002.10.21