Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.191-191
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- 2002
건식 진공펌프와 확산펌프에서의 오일 증기 역류 현상에 대한 고찰
- Jeong, Sun-Hui ;
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Im, Jong-Yeon
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- Lee, Wan-Hyeong ;
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Seong, Dae-Jin
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Sin, Yong-Hyeon
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- Jeong, Gwang-Hwa
- 정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
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임종연
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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- 이완형 (충남대학교) ;
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성대진
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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신용현
(한국표준과학연구원 진공기술센터)
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- 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords