Capillary electrode를 이용한 대기압 plasma의 특성 및 표면세정에 관한 연구

  • 이창헌 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
  • 이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실)
  • Published : 2002.02.19