Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.148-148
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- 2002
Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR-CVD) 방법을 이용한 multi-walled carbon nanotube의 저온 합성
- U, Yun-Seong ;
- Jeon, Deok-Yeong ;
- Lee, Nae-Seong ;
- Han, In-Taek ;
- Park, Yeong-Jun ;
- Kim, Ha-Jin ;
- Jeong, Jae-Eun ;
- Kim, Jong-Min
- 우윤성 (한국과학기술원 재료공학과) ;
- 전덕영 (한국과학기술원 재료공학과) ;
- 이내성 (세종대학교 신소재공학부) ;
- 한인택 (삼성종합기술원 FED project) ;
- 박영준 (삼성종합기술원 FED project) ;
- 김하진 (삼성종합기술원 FED project) ;
- 정재은 (삼성종합기술원 FED project) ;
- 김종민 (한국과학기술원 재료공학과)
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords