Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.02a
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- Pages.130-130
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- 2002
BTMSM/$O_2$ 의 혼합된 precursor를 사용한 nano-pore의 유무기 하이브리드 구조 저유전 박막의 특성분석
- Published : 2002.02.19
Abstract
Keywords