Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2002.02a
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Pages.100-100
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2002

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Low resistance and thermally stable Ru ohmic contact to Al doped n-ZnO

김한기 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
김경국 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
박성주 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
성태연 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)

Published : 2002.02.19

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Abstract

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