ICP CVD에 의해 증착된 비정질 및 마이크로크리스탈라인 실리콘 박막의 이종접합 연구

  • 김경해 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 고재경 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 박중현 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
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  • 문상일 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 이준신 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부)
  • Published : 2002.02.19