Si/SiGe Epitaxial Growth by UHV-CVD

• Song, Seok-Chan ;
• Im, Seung-Hyeon ;
• Lee, Seung-Yun ;
• Park, Tae-Seo ;
• Lee, Jong-Ho ;
• Yun, Ui-Jun ;
• Park, Jeong-U ;
• Choe, Si-Yeong ;
• Gang, Ho-Gyu

• 송석찬 (서울대학교 재료공학부) ;
• 임승현 (서울대학교 재료공학부) ;
• 이승윤 (서울대학교 재료공학부) ;
• 박태서 (서울대학교 재료공학부) ;
• 이종호 (원광대학교 전기전자 및 전기공학부) ;
• 윤의준 (서울대학교 재료공학부) ;
• 박정우 (삼성전자) ;
• 최시영 (삼성전자) ;
• 강호규 (삼성전자)

• Published : 2002.02.19

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