Adsorption and thermal reaction of $NH_3$ on the Si(100) surface

  • 김정원 (연세대학교 물리 및 응용물리사업단, 초미세 표면과학연구센터) ;
  • 염한웅 (연세대학교 물리 및 응용물리사업단, 초미세 표면과학연구센터)
  • Published : 2002.02.19