플라즈마 식각 공정의 III-V 화합물 반도체 광송수신 소자 제조에의 적용

• Kim, Hyeon-Su ;
• Yu, Yeong-Hun ;
• Lee, Jung-Gi ;
• Chu, An-Gu ;
• Yeom, Geun-Yeong ;
• Kim, Tae-Il

• 김현수 (삼성전자정보통신 광사업부 광전자팀, 성균관대학교 재료공학과) ;
• 유영훈 (삼성전자정보통신 광사업부 광전자팀, 성균관대학교 재료공학과) ;
• 이중기 (삼성전자정보통신 광사업부 광전자팀, 성균관대학교 재료공학과) ;
• 추안구 (삼성전자정보통신 광사업부 광전자팀, 성균관대학교 재료공학과) ;
• 염근영 (삼성전자정보통신 광사업부 광전자팀, 성균관대학교 재료공학과) ;
• 김태일 (삼성전자정보통신 광사업부 광전자팀, 성균관대학교 재료공학과)

• Published : 2002.06.27

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