Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

펌프 내구성에 영향을 주는 반도체 공정 부산물 분석

  • 박수영 (한국표준과학연구원 물질량표준부) ;
  • 주장헌 (성원에드워드) ;
  • 김진석 (한국표준과학연구원 물질량표준부)
  • Published : 2002.06.27
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