Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

저온 poly-Si TFT 적용을 위한 비정질 실리콘 박막의 교번자장결정화(AMFC)에 관한 연구

  • 박상진 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 임태형 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 강구현 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2002.06.27
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Abstract

Keywords