Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향

  • 황완식 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 최승진 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
  • 이인규 (한국항공대학교 항공재료공학과)
  • Published : 2002.06.27
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