MOCVD법으로 증착한 $TiO_2$ 박막의 증착거동 및 단차피복성에 대한 연구

• 노상용 (서울대학교 재료공학부) ;
• 오진호 (서울대학교 재료공학부) ;
• 황철성 (서울대학교 재료공학부) ;
• 김형준 (서울대학교 재료공학부)

• No, Sang-Yong ;
• O, Jin-Ho ;
• Hwang, Cheol-Seong ;
• Kim, Hyeong-Jun

• 발행 : 2002.06.27

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